Основное направление деятельностиФундаментальные исследования в области физических основ микроэлектроники и свойств микро- и нанообъектов, создание методов контроля и диагностики микроструктур, разработка новых технологических процессов микроструктурирования, поиск и получение новых материалов для микроэлектроники.
Руководители
зам. директора по науке д.ф.-м.н. Николайчик Владимир Иванович
зам. директора по науке к.ф.-м.н. Иржак Дмитрий Вадимович
Зам. директора по общим вопросам Амелюшкин Дмитрий Александрович
Зам. директора по коммерциализации Осипов Николай Александрович
Адрес142432, Московская область, Ногинский район, г.Черноголовка, ИПТМ РАН
КонтактыТел.: +7(495)962-8074Факс: +7(495)962-8047
